| Record ID | harvard_bibliographic_metadata/ab.bib.10.20150123.full.mrc:641232263:910 |
| Source | harvard_bibliographic_metadata |
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100 1 $aMichel, Andreas.
245 00 $aAbformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern /$cAndreas Michel.
260 $aKarlsruhe :$bKernforschungszentrum Karlsruhe,$c[1993]
300 $a84 p.
500 $aSummary in English.
502 $aThesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1993.
700 1 $aMichel, A.
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710 2 $aUniversität Karlsruhe.
740 0 $aTechnique of application of mechanical microstructures onto microelectronic circuits.
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