| Record ID | marc_loc_2016/BooksAll.2016.part31.utf8:71246080:869 |
| Source | Library of Congress |
| Download Link | /show-records/marc_loc_2016/BooksAll.2016.part31.utf8:71246080:869?format=raw |
LEADER: 00869cam a2200265 a 4500
001 2003454558
003 DLC
005 20100720113227.0
008 030521s2002 pl a b 000 0 pol d
010 $a 2003454558
020 $a9788370856342
020 $a8370856349
035 $a(OCoLC)ocm52897801
040 $aLHL$cLHL$dNUKAT$dDLC
042 $alccopycat
050 00 $aQD921$b.D93 2002
100 1 $aDziuban, J. A.$q(Jan A.)
245 10 $aTechnologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemenów /$cJan A. Dziuban.
260 $aWrocław :$bOficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej,$c2002.
300 $a345 p. :$bill. (some col.) ;$c24 cm.
504 $aIncludes bibliographical references.
650 0 $aSilicon crystals.
650 0 $aSilicon.
650 0 $aSilicon diodes.
650 0 $aMicrostructure.