An edition of Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik (1993)

Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik

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Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten ...
Martin Oppermann, Martin Opper ...
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An edition of Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik (1993)

Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik

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Publish Date
Language
German
Pages
92

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Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik
1993
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Book Details

Edition Notes

Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1993.

The Physical Object

Pagination
II, 92 S
Number of pages
92

ID Numbers

Open Library
OL53601128M
OCLC/WorldCat
46176330

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