An edition of Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten (1999)

Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

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Publish Date
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Language
German

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Subjects

Gasversorgung, Prozessanalyse, Halbleitertechnologie, Prozessentwicklung, Reinraumtechnik, Reinstoff
Edition Availability
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Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
1999, Springer Berlin Heidelberg
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Edition Notes

Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA

Published in
Berlin, Heidelberg
Series
IPA-IAO Forschung und Praxis

Classifications

Dewey Decimal Class
670
Library of Congress
T55.4-60.8

The Physical Object

Format
Elektronische Ressource
Pagination
Online-Ressource.

ID Numbers

Open Library
OL27093797M
Internet Archive
untersuchungenvo00schl
ISBN 10
3642468829
ISBN 13
9783642468827
OCLC/WorldCat
863941337

Source records

Internet Archive item record
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